leybold萊寶真空計(jì)TTR200NTHERMOVAC 變送器

TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。

變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測量。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。

每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

變送器擁有三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。

壓電傳感器基于對硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力，另一側(cè)暴露于真空。

壓電傳感器可測量無關(guān)于氣體成分和濃度的真實(shí)差壓。

這兩個(gè)傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

應(yīng)用

差分壓電傳感器將始終相對于環(huán)境壓力進(jìn)行精確的測量，不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:

- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)

- 相對于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

? 真空鎖壓力控制

? 一般真空壓力測量

? 前級管道和粗抽壓力測量

? 氣體回填測量和控制

? 質(zhì)譜儀控制

? 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

? 系統(tǒng)過程控制

? 檢測異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/p>

? 控制系統(tǒng)壓力

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