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玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀
簡要描述：

玉科精品HOBIBA堀場CS-600F光纖式化學濃度監(jiān)測儀
玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

  • 產(chǎn)品型號：CS-600F
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：144

詳細介紹

玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

光纖式化學濃度監(jiān)測儀

CS-600F 系列

一種基于光纖的化學品濃度監(jiān)測儀，用于測量半導體制造過程中使用的化學品，如清洗和蝕刻。

可以測量濕法工藝所必需的高溫化學品。實現(xiàn)快速、穩(wěn)定和節(jié)省空間的解決方案，從而優(yōu)化化學品管理并提高其精度。

型CS-600F 系列
測量
原理		吸收光譜法
計算
原理		溫度補償型多變量分析


樣品溶液
溫度		20?80°C
測量周期約 3 秒
LCD
顯示屏		（1） 測量值 （%）
（2） 濃度警報 （HH/H/L/LL）
（3） 錯誤代碼 （EXXX）
（4） 化學溫度 （°C）
（5） 串/并行通信狀態(tài) （P/S）
（6） 背景校正失敗次數(shù) （CXXX）
按鍵輸入（1） 濃度警報設置 （HH/H/L/LL）
（2） 濃度值偏移
（3） 背景校正
（4） 熱水校正
（5） 隨溫度變化的濃度變化
并行
輸入		輸入電壓為 12 V 至 30 V DC，通過光電耦合器
絕緣 （1） 并聯(lián)濃度警報輸出（開/關）
（2） 用于測量
的切換化學溶液（包括背景校正）
（3） 熱水校正
并行
輸出		晶體管輸出（NPN 集電極開路），通過光電耦合器
絕緣 通電時的最大電流：5 mA DC（無內(nèi)部保護電阻）
斷電時的最大電壓：30 V DC
（1） 濃度警報（HH/H/L/LL 警報時打開）
（2） 監(jiān)控錯誤（錯誤時關閉）
（3） 測量（測量時打開）
（4） 測量
用化學溶液類型 （5） 回波到熱水校正輸入
（6） 警告（發(fā)生時開啟）
（7） 背景校正狀態(tài) 8） 熱水校正狀態(tài)
串行輸入RS-232C
（1） 要求讀取測量數(shù)據(jù)
（2） 選擇要測量
的化學溶液類型 （3） 熱水校正
串行
輸出

RS-232C
（1） 實測數(shù)據(jù)號
（2） 化學溶液類型
（3） 濃度值
（4） 錯誤代碼
（5） 化學溫度

模擬
輸出		4 mA 至 20 mA
如果出現(xiàn)監(jiān)視器錯誤、停止測量或
選擇了無效的化學范圍，則信號輸出固定為 1.5 mA。負載電阻必須為最大值 500 Ω。
化學溶液
溫度輸入		接線端子入口（端子螺釘 M3）
鉑電阻溫度傳感器：Pt100
（三線型，A 級） *不包括溫度傳感器。
空氣
（用于作和吹掃）		連接端口：4 mm 外徑快速接頭、
壓力：0.2 MPa ±0.02 Mpa
電源100~230V AC（單相）、50/60Hz
功耗約 85 VA
（不包括啟動時的瞬態(tài)電流）
重量（監(jiān)視器） 約 3.6 kg
（燈單元） 約 2.8 kg
（樣品池） 約 1.2 kg
環(huán)境溫度（顯示器、燈單元） 20°C 至 30°C
（樣品池、光纖） 20°C 至 35°C
（應避免溫度突然變化，±1°C/1 小時內(nèi)）
環(huán)境濕度（監(jiān)視器、燈裝置、樣品池）40% 至 70%（
應無結露）
安裝時的傾斜角度（監(jiān)視器、Lamp 單元）在 ±1° 以內(nèi)
光纖長度：5 m，最小彎曲半徑：R 150 mm


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