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Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
簡要描述：

Osaka大阪真空TG390M磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵

特點：
■輕巧設(shè)計
　■節(jié)能
　■分子泵停止與啟動時間短
　■附帶維護警報機能
　■低振動
　■無需調(diào)整
　■自動校準(zhǔn)
　■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE

  • 產(chǎn)品型號：TG390M
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-04-19
  • 訪  問  量：167

詳細介紹

Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵

Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵


 ■輕巧設(shè)計
　■節(jié)能
　■分子泵停止與啟動時間短
　■附帶維護警報機能
　■低振動
　■無需調(diào)整
　■自動校準(zhǔn)
　■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE


用途

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質(zhì)
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學(xué)部件制造
?加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)




吸氣口法蘭VG100
CF100
ISO-B100
排氣速度N2 (L/s)340
N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s)320
H2 (L/s)290
最大壓縮比N21×108　
H24.5×103
極限壓力VG?ISO-B/CF (Pa)<1×10-6 / <1×10-7　
VG?ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流量※1N2 (sccm)2000
啟動時間(min) 2~3　
停止時間(min)4~5
允許輔助壓力(Pa / Torr)400 / 3
推薦輔助泵(L/min)≧160
安裝角度任意　
重量VG?ISO-B/CF(kg)  14/17
特殊規(guī)格
-耐腐蝕型
-耐反應(yīng)生成物型 TG-MI
-極低振動型 TG-ML

  • ※1：輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量

  • [ 使用周囲溫度 ]

  • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。

  • [ 對應(yīng)氣體種類 ]

  • 由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。
    關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。






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